अर्धचालक वेफर निर्माणमा उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकको प्रमुख भूमिका

शीर्षक: सिलिकनको शान्त साथी: किन क्वार्ट्ज सिरेमिक निर्देशिका चिप उत्पादन सुविधाहरू।


अर्धचालक वेफर निर्माणमा उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकको प्रमुख भूमिका

(अर्धचालक वेफर निर्माणमा उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकको प्रमुख भूमिका)

तपाईंको फोन वा ल्यापटप कम्प्युटर भित्रको सानो, शक्तिशाली चिपको बारेमा सोच्नुहोस्। यी चमत्कारहरू बनाउन गम्भीर परिशुद्धता चाहिन्छ। त्यसैगरी, यस्ता अनौठा सामग्रीहरू पनि चाहिन्छ जसले पागलपन सहन सक्छ र अत्यन्तै सफा रहन सक्छ। गुमनाम नायकलाई सन्तुष्ट पार्नुहोस्: उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिक। तिनीहरू आकर्षक छैनन्, तर चिप निर्माताहरूले तिनीहरू बिना भोलिको प्रविधि निर्माण गर्न सक्दैनन्।

मुख्य वस्तुको किवर्ड: उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिक।

उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकहरू वास्तवमा के हुन्?

बालुवाको तस्वीर बनाउनुहोस्। हाल, सम्भव भएसम्म शुद्ध क्वार्ट्ज बालुवा लिने र यसलाई रूपान्तरण गर्ने कल्पना गर्नुहोस्। यो परिवर्तनमा अत्यधिक ताप र विशेष ह्यान्डलिङ समावेश छ। परिणामस्वरूप कडा, गैर-धातु उत्पादन हुन्छ। यो सामग्री सिरेमिक जस्तो देखिन्छ। यो सिरेमिक जस्तो देखिन्छ। यो सिरेमिक हो। तैपनि यो लगभग पूर्ण रूपमा सिलिकन डाइअक्साइड (SiO2) बाट बनेको छ, जुन शुद्ध क्वार्ट्ज क्रिस्टल जस्तै हो।

"उच्च-शुद्धता" भाग महत्त्वपूर्ण छ। हामी अविश्वसनीय रूपमा कम प्रदूषणको डिग्रीको बारेमा कुरा गर्दैछौं - नुन, पोटासियम, फलाम, वा एल्युमिनियम जस्ता स्टीलहरू। यी अवांछित घटकहरू आंशिक रूपमा प्रति मिलियन, केही अवस्थामा प्रति बिलियन घटकहरू निर्धारण गरिन्छ। शुद्धताको यो स्तर प्राप्त गर्नु कडा परिश्रम हो। यसको लागि कच्चा क्वार्ट्ज र उन्नत रिफाइनिंग प्रविधिहरूको सावधानीपूर्वक छनौट आवश्यक छ। कुनै पनि प्रकारको प्रदूषणले प्रशोधन भइरहेको कमजोर सिलिकन वेफरहरूलाई बर्बाद गर्ने खतराहरू। यो शुद्धताले उत्पादनलाई निर्दिष्ट गर्दछ। यसले उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज पोर्सिलेनलाई अद्वितीय र महत्त्वपूर्ण बनाउँछ।

किन सेमीकन्डक्टर फेब्सहरू तिनीहरू बिना बाँच्न सक्दैनन्? ।

अर्धचालक उत्पादन कठोर छ। वेफरहरूले १००० डिग्री सेल्सियसभन्दा माथिको तापक्रमको सामना गर्छन्। तिनीहरू कठोर ग्याँसहरूले विस्फोट हुन्छन्। तिनीहरूलाई चिकित्सा सुविधा सञ्चालन क्षेत्र भन्दा सफा वातावरण चाहिन्छ। सामान्य उत्पादनहरूले यो दबाब दिन्छन्। धातुले टुक्राहरू खसाल्छ। नियमित सिरेमिकहरू न्यानो हुँदा प्रदूषकहरू चुहिन सक्छन्। गिलास बाङ्गिन वा दूषित हुन सक्छ।

उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकहरू यहाँ फस्टाउँछन्। तिनीहरूसँग महाशक्तिहरूको विशेष मिश्रण छ। सुरुमा, थर्मल स्थिरता। तिनीहरूले भाँचिएको वा विकृत नगरी जंगली तापक्रम स्तर स्विङहरूको ख्याल राख्छन्। दोस्रो, रासायनिक जडता। धेरैजसो खराब प्रक्रिया ग्याँसहरूले तिनीहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैनन्। यसले प्रदूषणबाट जोगाउँछ। तेस्रो, कम थर्मल विकास। तताउँदा वा चिसो हुँदा तिनीहरूले आकार परिवर्तन गर्न गाह्रो हुन्छ। उच्च-ताप चरणहरूमा वेफरहरूलाई पूर्ण रूपमा ठाउँमा राख्नको लागि यो आवश्यक छ। चौथो, विद्युतीय इन्सुलेशन। तिनीहरूले अनावश्यक धाराहरूबाट बच्छन्। पाँचौं, मेकानिकल बल। तिनीहरूले फ्याबको भौतिक आवश्यकताहरू अन्तर्गत टिक्छन्। अन्य कुनै सामग्रीले यो सम्पूर्ण बन्डल प्रयोग गर्दैन। त्यसैले तिनीहरू अपरिवर्तनीय छन्।

यी उल्लेखनीय क्वार्ट्ज सिरेमिकहरू कसरी बनाइन्छन्? ।

कच्चा क्वार्ट्जलाई फ्याब-रेडी कम्पोनेन्टहरूमा परिणत गर्नु सुविधा हो। यो अविश्वसनीय रूपमा शुद्ध क्वार्ट्ज चट्टान उत्खननबाट सुरु हुन्छ। यो चट्टान स्क्वाशिङ, ग्राइन्डिङ र कठोर शुद्धीकरणबाट गुज्रिन्छ। एसिड लिचिङ र उच्च-तापमान उपचार जस्ता रणनीतिहरूले ट्रेस धातुहरू हटाउँछन्। उद्देश्य ९९.९९% भन्दा बढी SiO2 डिग्री प्राप्त गर्नु हो।

त्यसपछि विकास हुँदैछ। अल्ट्रा-प्युर क्वार्ट्ज पाउडर बाइन्डरहरूसँग मिसाइन्छ। त्यसपछि यो बनाइन्छ। सामान्य प्रविधिहरूमा स्लिप कास्टिङ (जस्तै सिरेमिक स्लरीलाई मोल्डमा खन्याउने), आइसोस्टेटिक पुशिङ (सबै पक्षबाट उच्च तनाव प्रयोग गर्ने), वा शट मोल्डिङ समावेश छन्। "वातावरण-मैत्री शरीरहरू" भनिने आकारका भागहरू यस चरणमा कमजोर हुन्छन्।

त्यसपछि महत्त्वपूर्ण चरण आउँछ: सिन्टरिङ। वातावरणमैत्री शरीरहरू विशेष हीटरहरूमा जान्छन्। तापक्रम १२०० डिग्री सेल्सियस वा सोभन्दा माथि पुग्छ। यो अत्यधिक तातोले क्वार्ट्ज बिटहरूलाई एकअर्कासँग फ्यूज गर्छ। बाइन्डरहरू पग्लिन्छन्। बाँकी रहेको शुद्ध क्वार्ट्ज सिरेमिकको बाक्लो, बलियो टुक्रा हो। शुद्धता मेसिनिङले पालना गर्छ। हीरा उपकरणहरूले सिन्टर गरिएका घटकहरूलाई काट्छन्, पीस्छन् र उज्यालो बनाउँछन्। यसले वेफर ह्यान्डलिङ र ह्यान्डलिङको लागि आवश्यक सटीक आकार र चिल्लो सतह क्षेत्रहरू प्राप्त गर्दछ। अन्तमा, कठोर सफाईले मेसिनिङबाट कुनै पनि प्रकारका टुक्राहरूलाई हटाउँछ। त्यसपछि सफा कोठाको लागि तयार गरिएका भागहरू हुन्।

काममा तपाईंले तिनीहरूलाई कहाँ पत्ता लगाउनुहुन्छ? (आवेदनहरू)।

अर्धचालक फ्याबमा जानुहोस्, र तपाईंले वेफरहरू जहाँ पनि क्वार्ट्ज पोर्सिलेनहरू देख्नुहुनेछ। तिनीहरू आवश्यक उपकरणहरू भित्र शान्त वर्कहर्स हुन्:।

१. वेफर डुङ्गा र क्यारियरहरू (क्यासेटहरू): यसले प्रसार, अक्सिडेशन, र एनिलिङ जस्ता उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूको समयमा धेरै वेफरहरू समात्छ। क्वार्ट्ज पोर्सिलेनहरूले वेफरहरू मालिकद्वारा नै विकृत वा प्रदूषित नहुने कुरा सुनिश्चित गर्दछ।
२. प्रशोधन ट्यूब र लाइनरहरू: भट्टी भित्र, क्वार्ट्ज सिरेमिक ट्यूबहरूले सुरक्षित वातावरण सिर्जना गर्दछ जहाँ वेफरहरू न्यानो हुन्छन्। लाइनरहरूले हीटर भित्ताहरूलाई सुरक्षित राख्छन्। तिनीहरूको शुद्धताले ग्यास प्रतिक्रियाहरू र कण बहावलाई रोक्छ।
३. ससेप्टरहरू: एपिटाक्सी (बढ्दो क्रिस्टल तहहरू) जस्ता प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने ससेप्टरहरूले वेफरलाई समात्छन् र समान रूपमा न्यानोपन स्थानान्तरण गर्छन्। क्वार्ट्ज सिरेमिकले उच्च तापक्रममा स्थिरता र शुद्धता प्रदान गर्दछ।
४. ताप प्रणालीका ढोकाहरू र अन्त्य क्याप्स: यी उच्च-तापमान क्षेत्रहरूलाई सील गर्छन्। क्वार्ट्ज सिरेमिकले कमजोर नभई सील र इमानदारीलाई सुरक्षित राख्छ।
५. प्लाज्मा एच तत्वहरू: प्लाज्माले ढाँचाहरू कुँद्ने कक्षहरूमा, क्वार्ट्ज सिरेमिक भागहरू (ढाल, फोकस रिंगहरू) विनाशकारी प्लाज्मा ग्यासहरूको सामना गर्छन्।
६. सीएमपी रिटेनिङ ब्यान्डहरू: केमिकल मेकानिकल पालिसिङमा, क्वार्ट्ज सिरेमिक रिंगहरूले वेफरहरूलाई ब्राइटनिङ प्याडको विरुद्धमा सुरक्षित रूपमा समात्छन्।

समग्रमा शुद्धता, शुद्धता, र न्यानोपन प्रतिरोध अ-सम्झौतायोग्य छन्, उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज पोर्सिलेनहरू काममा लाग्छन्।

प्रायः सोधिने प्रश्नहरू: उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकहरू अमिस्टिफाइड।

के तिनीहरू केवल फेन्सी गिलास होइनन्? होइन। गिलास पग्लन्छ र तरल अवस्थामा सिर्जना हुन्छ। क्वार्ट्ज सिरेमिकहरू बलियो पाउडरलाई सिंटर गरेर बनाइन्छ। यसले तिनीहरूलाई बाक्लो, बलियो, धेरै बढी तापक्रम स्तर प्रतिरोधी बनाउँछ, र मर्ज गरिएको क्वार्ट्ज गिलास भन्दा अशुद्धताहरू छोड्ने सम्भावना कम हुन्छ।

किन बढी किफायती पोर्सिलेन प्रयोग नगर्ने? मानक सिरेमिकहरूमा प्रायः माटो, फ्लक्स, वा अन्य विभिन्न सामग्रीहरू हुन्छन्। यी पक्षहरूले तापमा वेफरहरूलाई दूषित पार्छन्। उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज पोर्सिलेनहरू तिनीहरूको लगभग कुल SiO2 सामग्री र सीमान्त प्रदूषकहरू द्वारा निर्दिष्ट गरिन्छ। सस्ता विकल्पहरू शुद्धता परीक्षणमा कम पर्छन्।

तिनीहरू कति समय टिक्छन्? तिनीहरू धेरै लामो समयसम्म टिक्छन्। यद्यपि तिनीहरू विनाशकारी हुँदैनन्। अत्यधिक ताप चक्र र संक्षारक ग्याँसहरूको निरन्तर प्रत्यक्ष सम्पर्कले ढिलो विघटन वा सतह सूक्ष्म-क्र्याकिंग निम्त्याउँछ। फ्याबहरूले कम्पोनेन्टहरूमा ध्यानपूर्वक नजर राख्छन्। तिनीहरूले अप्रत्याशित विफलता र प्रदूषण रोक्न व्यवस्थित मर्मतसम्भारको क्रममा तिनीहरूलाई परिवर्तन गर्छन्।

के तिनीहरू साँच्चै त्यति महँगा छन्? हो, तुलनात्मक रूपमा। खर्च अति-शुद्ध स्रोतहरू, जटिल निस्पंदन प्रक्रिया, उच्च-ऊर्जा सिन्टरिङ, र परिशुद्धता मेसिनिङबाट उत्पन्न हुन्छ। तर वेफर प्रदूषण वा प्रक्रिया विफलताको लागत खगोलीय रूपमा बढी छ। क्वार्ट्ज पोर्सिलेनको प्रयोग प्रतिफल र उच्च गुणस्तरमा महत्त्वपूर्ण लगानी हो।


अर्धचालक वेफर निर्माणमा उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकको प्रमुख भूमिका

(अर्धचालक वेफर निर्माणमा उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सिरेमिकको प्रमुख भूमिका)

के कुनै प्रकारको वैकल्पिक सामग्री उत्पन्न हुन्छ? अनुसन्धानकर्ताहरूले बारम्बार खोज्छन्। सिलिकन कार्बाइड (SiC) ले उत्कृष्ट थर्मल घरहरू आपूर्ति गर्दछ। तर SiC अति-शुद्ध बनाउन गाह्रो छ र कार्बन प्रदूषण परिचय गराउन सक्छ। सिलिकन नाइट्राइड अर्को प्रतिस्पर्धी हो। तैपनि, क्वार्ट्ज सिरेमिक जस्तै शुद्धता र लागत-प्रभावकारिताको समान स्तर हासिल गर्नु चुनौतीपूर्ण छ। अहिलेको लागि, क्वार्ट्ज पोर्सिलेनहरू महत्त्वपूर्ण उच्च-तापमान वेफर ह्यान्डलिङको लागि सुनको मापदण्ड रहन्छन्।

न्यूजलेटर अपडेटहरू

तल आफ्नो इमेल ठेगाना प्रविष्ट गर्नुहोस् र हाम्रो न्यूजलेटर सदस्यता लिनुहोस्